复合真空计由热电偶真空计和热阴极电离真空计组成。

　　一般来说，对低真空和高真空的测量不能用复合真空计进行，必须使用复合真空计，必须多应用电离和热电偶式复合功率计。测量范围为13.33 - 666.610-8Pa-8pa。热电偶真空计测量(10-1-10-3)  133.32PA的低真空电离真空计测量133.32 10-3-666.6 10-8PA的高真空。复合真空计有一个热电偶管，一个电离管，每个都连接到真空系统，通过手柄可以分别加热和使用两个管道。

　　(1)连接热电偶规、电离规和设备的电缆、插头不能连接错误，如果插错，监管可能会被烧毁。

　　(2)在低真空测量中使用热电偶规时，开关置于“加热”位置，旋转电流调节器以加热电流为给定值。然后把开关拨到“测量”位置，在表中就可以了。

　　(3)低真空测量使用电阻计时要进行“零点”和“万度”校准。

　　(4)使用电离规时，根据电离真空计工作。

　　(5)在测量过程中，整个系统电源电压必须保持不变。真空度小于0.1Pa时，电离计不可用。

　　复合真空计的测量范围是怎样?

　　在压力测量中，除了极少数直接测量外，绝大多数都是间接测量。首先在测量的气体中产生一定的物理现象，然后在这个过程中测量与压力相关的物理量，以确定压力值。这是真空测量的特点，也可能引起某些问题。

　　任何具体的物理现象和压力之间的关系在特定的压力范围内较明显，超出这个范围，关系就会变弱。因此，任何方法都有一定的测量范围，这个范围是真空计的“距离”。扩大各种可能方法的范围是真空科学研究的重要内容之一。与近代真空技术相关的压力范围达到19级(105 ~ 105 ~ 10 ~ 14pa)，任何真空计都无法测量这么大的压力范围，因此总是用几种真空计管辖特定地区。但是由于各种真空计原理上的差异。相互啮合的领域经常会出现很大的误差。

　　在测量的空间中产生一定的物理现象，从测量的角度来看，需要简单的物理现象，但有时不可避免地带来一系列寄生现象，这些寄生现象不仅会给测量量带来误差，有时还会出现“喧宾夺主”的问题，完全掩盖了主要现象。