美国BROOKS流量计5866RT 弹性体密封压力控制器和流量计
广泛的流量测量范围内的高压应用的多功能性。
型号 5866RT
Brooks 5866RT 型金属或弹性体密封压力控制器和流量计在控制压力的同时还测量流量。5866RT 型接收远程压力传感器信号，并使用可调节的集成 PID 控制电子设备和控制阀，将保持所需的设定压力。5866RT 具有密封件、电抛光润湿表面以及广泛的压力和流量测量范围等选项，可在广泛的过程中提供经过验证的结果。
美国BROOKS流量计5866RT特征
一体式压力传感器
响应时间：<0.8 秒
宽流量测量范围，满量程流量从 0 - 3 sccm 到 0 - 30,000 sccm
满量程压力范围广（最大压力 1500 psig）
可选金属密封件
电抛光润湿表面（可选）
电控阀超控
适用于上游或下游控制
模拟接口
美国BROOKS流量计5866RT好处
消除下垂、滞后和升压
高泄漏完整性
更好地控制压力和流量
使用顶部安装的 DIP 开关进行动态调整
美国BROOKS流量计5866RT应用
薄膜工艺
化学研究
石化研究
实验室
燃料电池
生命科学
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