美国BROOKS流量计GP200系列新品介绍

这样做的一个显着优势中技术是它消除了需要，具有匹配的绝对传感器，因此可以防止不受控制的漂移和流量不准确。 一般来说，基于差压的流量测量，确保 y1 具有超强的准确性和。流量测量的重复性。

基于压力的质量流量控制器
所有的表现。
没有任何限制。

美国BROOKS流量计GP200系列降低测量不确定度

一个真正的差压传感器。卓越的流量测量精度和可重复性。
传统的基于压力的 MFC 使用两个绝对压力传感器来计算压降。GP200 系列采用了一种新颖的传感器方法——一个绝对压力传感器与一个真正的差压 (ΔP) 传感器串联的集成组件。

无需在两个独立的绝对压力传感器之间进行匹配校准和温度补偿
防止不受控制的漂移和流量不准确
实现卓越的长期稳定性

美国BROOKS流量计GP200系列适用于所有工艺条件

所有压力、所有气体、所有过程。
传统的基于压力的 MFC 需要高入口压力才能运行。不是 GP200 系列 -层流元件专为低压降而设计，差压传感器具有最佳量程，可准确测量半导体制造中使用的具有挑战性的低蒸气压工艺气体的流量。

这种独特的架构使 GP200 系列成为适用于标准压力和临界低蒸气压气体的通用 P-MFC 解决方案，确保在所有操作条件下的准确性和可重复性。

35 psia 是 GP200 系列的典型入口压力规格，但可根据您的具体应用配置更高或更低
设计用于支持关键的低压工艺气体，包括：
氯化溴3
C 4 F 6 -q
C 4 F 8
碳化硅4
串扰不敏感≤ ±1% 的设定点，最高 40 psi/sec 入口压力峰值
层流元件

美国BROOKS流量计GP200系列精确和可重复的气体输送

2.5 倍更快的流动稳定，以提高晶圆吞吐量。
对上升和下降流量稳定时间的超快速、高度可重复的响应，没有长时间的泄放时间延迟

GP200 系列不受来自脉冲气体喷射、混合歧管和分流器子组件的不同背压的影响。独特的下游阀架构通过将层流元件和 ΔP 传感器与下游串扰（压力变化）隔离开来，允许误差与下游压力无关，从而能够将流量输送到高达 1200 Torr 的下游压力中。

由于没有可变的气体内部体积需要消耗，下游阀能够快速关闭和切换脉冲气体输送的配方设定点。瞬态变化会导致薄膜厚度变化以及电气变化。

具有快速降压响应的匹配瞬态响应消除了过渡到低流量设定点时的长排放时间延迟（消除“尾部效应”）。

下游阀门架构

美国BROOKS流量计GP200系列阀门泄漏改善 100 倍

控制阀的零泄漏消除了第一晶片效应。
当 MFC 控制阀发生气体泄漏时，它会在下游气动隔离阀处引起不必要的压力积聚，从而形成截留体积的气体。

当启动新的配方序列时，这些被困气体进入工艺室，导致第一片晶圆出现不均匀性和临界尺寸 (CD) 缺陷，称为第一片晶圆效应。工艺工程师通过在处理晶圆之前运行虚拟晶圆或将气流转移到废气中来避免第一晶圆效应。

带有工程 PCTFE 密封表面的可选零泄漏控制阀提供改进的阀门关闭以消除第一晶圆效应：

<0.005% FS 对于 42-46 箱
<0.02% FS 对于 40-41 箱

工程 PCTFE 密封表面