美国BROOKS流量计-超高纯度压力传感器和变送器
挑战：改善超高纯度工艺中的气体管理
许多晶圆厂的大容量气体源和机柜与他们提供的工具相距很远。24/7 全天候准确和受控地输送这些气体对于工具的利用率和正常运行时间至关重要——因此实施压力传感器和变送器来测量、跟踪和传达压力水平，并在压力超出设定点时生成警报同样重要。
解决方案：SolidSense II® 压力传感器
Brooks SolidSense II® 压力传感器设计用于处理当今最尖端的半导体工艺和节点中使用的复杂且有时苛刻的气体。它们结合了无焊接、耐腐蚀的材料，精度在满量程的 0.25% 以内。通过使用由优质不锈钢加工而成的独特的一体式传感器，SolidSense II 传感器无论被测量的气体如何，都表现出出色的长期稳定性。
产品
微分器 超高纯度
压力范围 -15 磅/平方英寸 - 3000 磅/平方英寸
建筑材料 外壳：不锈钢、聚合物塑料
模拟通信 0-5 Vdc、0-10 Vdc、0.2-5.2 Vdc、2-10 Vdc、4-20 mA
认证/批准
EMC：符合欧盟指令 2004/108/EC
FM 认证：非易燃，可用于 I 类、II 类 A、B、C 和 D 组危险应用