SLA 系列弹性体密封压力控制器

金属密封热 MFC

GP200 系列 金

属密封 P-MFC

wxfsk888@163.com

利用我们的热 MFC 核心技术，通过闭 环控制消除下垂、升压和滞后。

超快的响应速度和高纯度的全金属 流动通道能够最大程度减少污染， 提高产量。

我们最先进的 GP200 MFC 是首款 全压力不敏感的 P-MFC，采用独特 的设计方法，能够在各种各样的运行 条件下实现最终精密工艺气体输送。

能够在极低流量应用中实现最精确 的测量和控制。

• 用于 SLA 系列质量流量设备，最大程 度提高工艺一致性成效

• 广泛的压力测量和控制范围

• 下游或上游控制模式

• 耐用、稳定的金属顶盖可防止设备在 安装期间受损

• 可单独轻松访问的诊断/维护端口

•  SLAMf 系列采用 NEMA4X/IP66 防 护等级硬化外壳，能够胜任软管冲洗/

虹吸应用。

• 适用于对水分或氧气敏感的工艺

• 超稳定、高精度的测量传感器

• 快速精密控制阀

• 高完整性(密封) 、超高纯度、全金属 润湿流动通道

• 耐腐蚀的 Hastelloy® 传感器

•  MultiFlo™  可编程多气体和多量程 功能

• 实时流量错误检测和压力瞬态不敏 感技术

• 一个真正的压差传感器提供卓越的流 量测量精度和可重复性，同时降低测 量不确定性

• 专为低压降而设计的层流元件使 GP200 成为所有压力、气体和工艺 理想的通用 P-MFC 解决方案。

• 嵌入式 MultiFlo™ 气体型号支持实时 重新配置气体和流量范围，以获得最 大的工艺灵活性

• 零泄漏控制阀可将阀门关闭性能提 高 100 倍(可选)

• 通信协议：DeviceNet™、EtherCAT® 和 RS485

• 真实的质量流量测定结果，不是来自 于推断

• 固有的流体密度计

• 质量流量或体积流量和密度或温度 的可选多变量输出

• 对流体类型不敏感

• 多种多样的外壳供选项 — 高达 NEMA 4X/IP66 防护等级

• 高压性能可满足严苛的研究应用需求

•  Zone 2 和 Class 1 Division 2 的可选 危险区域认证

• 内置用户可设置的警报和诊断功能

• 压力控制范围 —

o 标准：20 比 1，高达 1500 psi (100 bar)

o 可选：高达 4500 psi (310 bar)

• 流量范围 — 3 sccm – 50 lpm

• 精度 —

o 传感器满量程的 ±0.25%(满量程 >300 psia)

o 传感器满量程的 ±0.12%(满量程 <300 psia)

• 最大压力 — 4500 psia (310 bar)

• 流体类型 — 气体

• 流量范围 — 3 sccm – 300 slm

• 精度 — SP 的 ±1%

• 最大压力 — 高达 500 psia (34.4 bar)

• 温度范围 — 5–65°C (40 -149°F)

• 流体类型 — 气体

• 流量范围 — 3 sccm – 50,000 sccm

• 精度 — SP(满量程的 5-100%)的 ±1%

• 最大压力 — 高达 60 psia (4 bar)

• 温度范围 — 10-60°C (50-140°F)

• 流体类型 — 气体和液体

• 流量范围 — 1–27,000+ gm/hr

• 精度 — 流速的 0.2–0.5%

• 最大压力 —

o 标准 500 psi (34 bar)

o 可选 1500 (103 bar) 或 4500 psi (310 bar)

• 温度范围 — 0-60°C (33-140°F)

SLA 系列

通用热 MFC

美国BROOKS流量计-GF40 系列MultiFloTM  热 MFC

5850E 和 i 系列

模拟热 MFC

SLAMf 系列

NEMA 4X/IP66 防护等级 热 MFC

经验证的的 MFC，适用于各种各样的 质量流量需求和应用，可提供卓越的 结果和更低的总拥有成本。

设备设计紧凑，只需一台即可测控多 种气体和流量，最大限度地提高工艺 灵活性和生产力，同时保持精确度。

极其可靠、准确和可重复的测量及控 制性能可满足严苛的工业流程需求。

经实践考验的 SLA5800 具有高精 度和长期稳定性，配有专门设计的 NEMA 4X/IP66 防护等级硬化外壳， 适用于最恶劣的环境。

• 卓越的长期漂移稳定性和业内首屈 一指的 MTBF

• 行业领先的设备线性度、可重复性和 可再现性

• 广泛的流量和压力量程

• 可编程多气体和多量程功能

• 独立且易于访问的维护端口简化了 安装、诊断和故障排除

• 与 SLA 系列压力控制器配套使用，可 消除下垂、升压和滞后

• 专为生物技术应用设计的全新选项 套装

•  MultiFlo™ 技术使一台 MFC 能够支 持数千种气体类型和量程组合，无需 将其从气体管路中拆除或影响精确度

• 卓越的工艺气体精度

• 适用于一系列的气体

• 广泛的流量和压力量程

• 流量可随指令变化做出快速响应，过 冲/下冲可忽略不计

• 仅模拟输入/输出，使安装和维护更 轻松快捷

•  NEMA 4X/IP66 防护等级硬化外壳， 适用于软管冲洗/虹吸应用

• 危险区域认证和批准：ATEX、CE、 IECEx、KOSHA、UL(认证) Class 1 Division 2 和 Zone 2

• 广泛的流量、温度和压力范围

• 可编程多气体和多量程功能

• 与 SLA 系列压力控制器配套使用，可 消除下垂、升压和滞后

• 专为生物技术应用设计的全新选项 套装

• 支持包括 EtherNet/IP™ 和          PROFINET® 在内的各种通信协议

• 流体类型 — 气体

• 流量范围 — 3 sccm – 2500 lpm

• 精度 — 17025 台认证设备可达到 SP(满量程的 20-100%)的 ±0.6%

• 最大压力 —

o 标准 1500 psi (100 bar)

o 可选 4500 psi (310 bar)

• 温度范围 — -14-65°C (7-149°F)

• 流体类型 — 气体

• 流量范围 — 3 sccm – 50 slpm

• 精度 — SP(满量程的 35-100%)  的 ±1%

• 最大压力 — 150 psig (10 bar)

• 温度范围 — 5-50°C (41-122°F)

• 流体类型 — 气体

• 流量范围 — 3 sccm – 1000 lpm

• 精度 — 满量程的 ±1%

• 最大压力 — 1500 psig (100 bar)

• 温度范围 — 5-65°C (41-149°F)

• 流体类型 — 气体

• 流量范围 — 3 sccm – 2500 lpm

• 精度 — 17025 台认证设备可达到 SP(满量程的 20-100%)的 ±0.6%

• 最大压力 —

o 标准 1500 psi (100 bar)

o 可选 4500 psi (310 bar)

• 温度范围 — -14-65°C (7-149°F)

Sho-Ratem 系列

玻璃管 VA 流量计

GT1600 系列 玻

璃管 VA 流量计

MT3750 系列

金属管 VA 流量计

MT3809 系列 金

属管 VA 流量计

简单、坚固的设计可确保低流量和高

简单、坚固的设计可确保低流量和高

具备在恶劣的环境下实现可靠、耐用、

具有最广泛的温度、压力和流量量程，

流量气体和液体应用的持久性能，而

流量气体和液体应用的持久性能，而

低流量测量的性能。

适用于在危险、偏远地区测定流体。

这些应用中观察工艺至关重要。

这些应用中观察工艺至关重要。

• 体类型 — 清洁液体和气体

• 流量范围 —

o 空气：高达 15 scfm / 425 slpm

o 水：高达 5 gpm / 19 lpm

• 精度 — 满量程的 ±3、±5、±10%

• 最大压力 — 200 psig (13.8 bar)

• 温度范围 — 1-121°C (33-250°F)

• 体类型 — 清洁液体和气体

• 流量范围 —

o 空气：高达 150 scfm/270 m3n/hr

o 水：高达 21 gpm/4,800 l/h

• 精度 — 满量程的 ±2、±5、±10%，级 别 2.5 acc VDI/VDE(可选满量程的

±1% FS，Class 1.6 acc VDI/VDE)

• 最大压力 — 500 psig (34.5 bar)

• 温度范围 — 1-121°C (33-250°F)

• 流体类型 — 清洁液体、气体和蒸汽

• 流量范围 —

o 空气：高达 110 scfh/3.1 m3n/hr

o 水：高达 26 gpm/100 l/h

• 精度 — 满量程的 ±3、±5%

o Class 2.5、4.0 VDI

• 最大压力 —

o 标准 1500 psig (100 bar)

o 可选 4000 psig (276 bar)

• 温度范围 — -50-204°C (-58-400°F)

• 流体类型 — 清洁液体、气体和蒸汽

• 流量范围 —

o 空气：高达 750 scfm/1200 m3n/hr

o 水：高达 440 gpm / 100,000 l/h

• 精度 — 满量程的 ±1%、±2%、±3% 、±5%

o Class 1.6、2.5、4.0 VDI

• 最大压力 —

o 标准 6000 psig (413.7 bar)

o 可选 20,000 psig (1379 bar)

• 温度范围 — -198-420°C (-325-788°F)

XacTorr 系列电容式压力计

VersaTorr 系列真空计

机械压力表、开关和变送器

美国BROOKS流量计SolidSense II® 压力传感器

先进的真空测量技术几乎消除了漂移

适用于许多真空应用的多合一超宽

卓越的多功能性和可靠性与耐用的设

在超高纯度和特种气体应用中通过

并提供了更长的使用寿命。

范围气体测量解决方案。

计和材料相辅相成，可满足各种工业 流程的应用需求。

可靠的压力监测实现智能、精密的 数字测量。

• 屏蔽传感器可防止颗粒积聚

• 双区温度控制提高了测量稳定性和 可重复性

• 数十年的数字校准提供了卓越的已 知精度窗口

• 独立诊断服务端口

• 加热或不加热 可用型号

• 9 个十进制的超宽测量范围

• 可编程设置和参数

• 热损失 MEMS Pirani 可在中低真空 范围内进行最准确的测量• Tri-Sensor Transducer 型号使用精密 电容膜片规传感器来消除 气体依赖

•  2 英寸不锈钢固态开关和变送器

• 可调节压力开关设定点，用于操作灯 或继电器

• 多个工艺连接和插座方向

•  316L 钢可承受恶劣环境

• 在无氧室中焊接，符合苛刻的高纯度 应用的严格清洁和安全标准

• 材料无焊接，耐腐蚀

• 在具有出色的零位稳定性，精度为满 量程的 0.25%

• 型号适用于集成显示器或全功能可 编程显示器

• 数字热补偿采用多点温度补偿法

• 专有的微加工硅应变计可达到极低 的零点漂移

• 压力范围 — 0.1 至 1000 Torr

• 准确度 — 读数的 ±0.15% 至 0.25%

• 温度范围 — 环境温度至 160°C

• 测量范围 — 4 十年

• 压力范围 — 7.5x10¯7   至 1000 Torr

• 准确度 — 读数的 ±5% 至 ±0.5%

• 温度范围 — 环境温度至 50°C

•  测量范围 — 9 十年

• 压力范围 — 高达 4000 psi (276 bar)

• 精度 — 满量程的 1%

• 具有逻辑输出的开关：

o 断开–接通和类型 1 (0 到 9-30 Vdc)

o 类型 2(8 至 30 Vdc)和

o 类型 3(0 至 5 Vdc)

• 具有行业标准输出的变送器 — 4–20 mA；0-5 Vdc；1–5 Vdc

• 压力范围 — -15–3000 psi (205 bar)

• 精度 — 满量程的 1%

• 输出类型 — 模拟电压或电流

• 认证 — CE、FM 和 ATEX