美国mks流量计-GM50A流量控制器-GM51A流量控制器详细介绍
GM50A 和 GM51A 数字控制质量流量控制器可用于模拟或 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用最新的 MKS 控制算法，在整个设备控制范围内对设定点进行快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准在校准气体上产生 1% 的设定点精度。
1、流速从 5 到 50,000 sccm
2、用特氟龙阀塞金属密封
3、多种数字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 选择
4、标准闭合电导泄漏率小于满量程的 1.0%
5、小于 750 毫秒的建立时间
模型 满量程流量范围 配件类型 模拟连接器 可用性 价格
GM50A013101RMM020 10 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013101SMM020 10 立方厘米 0.25 英寸世伟洛克式 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013102RMM020 100 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013103RMM020 1000 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013103SMM020 1000 立方厘米 0.25 英寸世伟洛克式 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013201RMM020 20 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013202RMM020 200 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013203RMM020 2000 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013204RMM020 20,000 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013204SMM020 20,000 立方厘米 0.25 英寸世伟洛克式 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013501RMM020 50 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013502RMM020 500 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
GM50A013503RMM020 5000 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub （接地） 联系我们
规格
类型 质量流量控制器 (MFC) 入口压力系数 <0.02% 读数/psi
控制范围 满量程的 2-100% 典型稳定时间 <750 毫秒，典型值高于满量程的 5%
满量程流量范围 5 - 50000 sccm（当量 N2） 热身时间 30分钟
广泛的数字和模拟接口选择
GM50A 数控 MFC 可提供模拟或数字 I/O。数字控制电子设备采用最新的 MKS 控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。GM50A 的模拟和数字 I/O 可轻松用于替换 1179A MFC 的相同 I/O 类型。所有 GM50A 都包含 Modbus 作为可用的辅助 I/O（不包括 PROFINET® 和 EtherCAT®）。
标准 3 英寸占地面积
GM50A 在 5 sccm 至 50 slm 流量范围内采用 MFC 最常使用的标准 3 英寸占地面积，无需修改现有气体管线配置即可使用。
金属密封
GM50A 金属密封 MFC 具有 10 µ 英寸电抛光 316L 表面光洁度，使该质量流量控制器可用于高纯度应用。
设定点精度百分比
包含的数字校准产生 1% 的设定点准确度，使用 N2 校准气体，用于 20% 至 100% 的满量程流量范围。设定点精度可实现精确的过程控制与相对于满量程的精度。对于 2 至 20% 满量程的质量流量，精度为 ±0.2% 满量程。
嵌入式用户界面
嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存需求。您还可以监控 MFC 功能并就地收集性能数据。
专利热传感器
久经考验的专利热传感器设计可提供出色的零位稳定性。美国专利号 5461913。
无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（膜厚控制仪、真空计/真空规、四极质谱仪、压强控制系统、氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、真空阀门），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。美国mks流量计,GM50A流量控制器,GM51A流量控制器等产品外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。