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MKS流量控制器
安徽供应美国mks流量计控制器
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  • 产品分类:MKS流量控制器
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安徽供应美国mks流量计控制器


GE50A采用标准的3英寸尺寸,常用于5sccm至50slm流速范围内的MFC,无需修改现有的气体管线配置即可使用。GE50A的设计采用了少的弹性体。只有一个外部弹性体密封和弹性体阀塞。否则,润湿表面都是金属的。GE50A标配氟橡胶密封件,以及丁腈橡胶、氯丁橡胶、EPMD或Kalrez可选件,允许该装置用于需要这些替代件之一的气体设定值准确度的百分比对于20%至100%的全刻度流量范围,包括的数字校准产生1%的设定点精度,使用N2校准气体。设定点精度可实现的过程控制,相对于满量程精度而言。对于2%至20%满量程的质量流量,精度为满量程的0.2%。


GE50A弹性体密封的5-50,000sccm质量流量控制器类型:质量流量控制器校准气体:N2(或同等产品)控制范围:2-100sccm满量程流量范围:100sccm配件类型:0.25英寸。世伟洛克风格密封材料:氟橡胶流量输入输出信号:0-5伏直流电模拟连接器:15针D-sub(接地)大入口压力:150磅/平方英寸正常工作压差:10至40磅/平方英寸耐受压力:1000磅/平方英寸破裂压力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%满量程时为设定值的1%,2至20%满量程时为满量程的0.2%可重复性:读数的0.3%解决:满量程的0.1%零温度系数:%3C0.05%满量程/℃跨度温度系数:读数的%3c0.08%/C入口压力系数:读数的%3C0.02%每平方英寸典型建立时间:%3C750毫秒,典型值高于满量程的5%


预热:时间30分钟工作温度:10-50摄氏度储存湿度:0至95%相对湿度,非冷凝储存温度:-20至80摄氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通过关闭的阀门泄漏完整性:高达10K阀门%3C0.1%的40psig大气压力下的FS,20K-50K阀门%3C1.0%的40psig大气压力下的FS湿材料:316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍表面抛光:16英寸平均半径重量:3磅(1.4千克)服从:英国国教会


类型:质量流量控制器 校准气体:N2(或同等产品) 控制范围:2 - 100 sccm 满量程流量范围:100 sccm 配件类型:0.25英寸。世伟洛克风格 密封材料:氟橡胶 流量输入输出信号:0 - 5伏直流电 模拟连接器:15针D-sub(接地) 大入口压力:150磅/平方英寸 正常工作压差:10至40磅/平方英寸 耐受压力:1000磅/平方英寸 破裂压力:1500磅/平方英寸


嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力,从而降低了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。成熟的专利热传感器设计提供了的零点稳定性。美国专利号5461913。美国mks流量计产品系列概述GE50A弹性体密封的5-50,000sccm质量流量控制器类型:质量流量控制器校准气体:N2(或同等产品)控制范围:2-100sccm满量程流量范围:100sccm配件类型:0.25英寸。世伟洛克风格密封材料:氟橡胶流量输入输出信号:0-5伏直流电模拟连接器:15针D-sub(接地)大入口压力:150磅/平方英寸正常工作压差:10至40磅/平方英寸耐受压力:1000磅/平方英寸破裂压力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%满量程时为设定值的1%,2至20%满量程时为满量程的0.2%可重复性:读数的0.3%

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。
 
质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空
和镀膜设备的品牌包括:INFICON(美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计),COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /
臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观
光洁如新,性能可靠,原厂验收标准。

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