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美国mks流量计
美国mks流量计-GE50A弹性体密封的5-50,000-sccm质量流量控制器- GE50A013103SMV020
  • 美国mks流量计-GE50A弹性体密封的5-50,000-sccm质量流量控制器- GE50A013103SMV020

  • 产品分类:美国mks流量计
  • 展开更多评论2022-10-2 11:38:45
  • G系列GE50A013103SMV020数字控制质量流量控制器利用最新的MKS控制算法,在整个设备控制范围内对设定值做出快速和可重复的响应。它的满量程流量范围为100 sccm,控制范围为2至1000 sccm,具有接地的15引脚D-sub mixture连接器,以及0-5 VDC流量输入/输出信号。
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G系列GE50A013103SMV020数字控制质量流量控制器利用最新的MKS控制算法,在整个设备控制范围内对设定值做出快速和可重复的响应。它的满量程流量范围为100 sccm,控制范围为2至1000 sccm,具有接地的15引脚D-sub mixture连接器,以及0-5 VDC流量输入/输出信号。

 

美国mks流量计-GE50A弹性体密封的5-50,000-sccm质量流量控制器- GE50A013103SMV020

美国mks流量计产品系列概述
GE50A弹性体密封的5-50,000 sccm质量流量控制器
技术规格
类型:质量流量控制器
校准气体:N2(或同等产品)
控制范围:2 - 100 sccm
满量程流量范围:100 sccm
配件类型:0.25英寸。世伟洛克风格
密封材料:氟橡胶
流量输入输出信号:0 - 5伏直流电
模拟连接器:15针D-sub(接地)
最大入口压力:150磅/平方英寸
正常工作压差:10至40磅/平方英寸
耐受压力:1000磅/平方英寸
破裂压力:1500磅/平方英寸
典型精度:20至100%满量程时为设定值的1 %, 2至20%满量程时为满量程的0.2%
可重复性:读数的0.3%
解决:满量程的0.1%
零温度系数:%3C0.05%满量程/℃
跨度温度系数:读数的% 3c 0.08%/C
入口压力系数:读数的%3C0.02%每平方英寸
典型建立时间:%3C750毫秒,典型值高于满量程的5%
预热:时间30分钟
工作温度:10 - 50摄氏度
储存湿度:0至95%相对湿度,非冷凝
储存温度:-20至80摄氏度
外部泄漏完整性:%3C1 x 10-09(SCC/秒He)
通过关闭的阀门泄漏完整性:高达10K阀门%3C0.1%的40 psig大气压力下的FS,20K - 50K阀门%3C1.0%的40 psig大气压力下的FS
湿材料:316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍
表面抛光:16英寸平均半径
重量:3磅(1.4千克)
服从:英国国教会

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