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美国mks流量计
美国mks流量计-G系列快速且可重复的质量流量控制器-GE50A弹性体密封-GE50A013201RMV020
  • 美国mks流量计-G系列快速且可重复的质量流量控制器-GE50A弹性体密封-GE50A013201RMV020

  • 产品分类:美国mks流量计
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  • G系列GE50A013201RMV020的满量程流量范围为20 sccm,控制范围为0.4至20 sccm,具有接地的15引脚D-sub mixture连接器和0-5 VDC流量输入/输出信号。校准N2(或等效气体),这是一个数字控制的质量流量控制器,利用最新的MKS控制算法,在整个设备控制范围内快速和可重复地响应设定点。
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G系列GE50A013201RMV020的满量程流量范围为20 sccm,控制范围为0.4至20 sccm,具有接地的15引脚D-sub mixture连接器和0-5 VDC流量输入/输出信号。校准N2(或等效气体),这是一个数字控制的质量流量控制器,利用最新的MKS控制算法,在整个设备控制范围内快速和可重复地响应设定点。

美国mks流量计-G系列快速且可重复的质量流量控制器-GE50A弹性体密封-GE50A013201RMV020

 

美国mks流量计产品系列概述
GE50A弹性体密封的5-50,000 sccm质量流量控制器
技术规格
类型:质量流量控制器
校准气体:N2(或同等产品)
控制范围:2 - 100 sccm
满量程流量范围:100 sccm
配件类型:0.25英寸。世伟洛克风格
密封材料:氟橡胶
流量输入输出信号:0 - 5伏直流电
模拟连接器:15针D-sub(接地)
最大入口压力:150磅/平方英寸
正常工作压差:10至40磅/平方英寸
耐受压力:1000磅/平方英寸
破裂压力:1500磅/平方英寸
典型精度:20至100%满量程时为设定值的1 %, 2至20%满量程时为满量程的0.2%
可重复性:读数的0.3%
解决:满量程的0.1%
零温度系数:%3C0.05%满量程/℃
跨度温度系数:读数的% 3c 0.08%/C
入口压力系数:读数的%3C0.02%每平方英寸
典型建立时间:%3C750毫秒,典型值高于满量程的5%
预热:时间30分钟
工作温度:10 - 50摄氏度
储存湿度:0至95%相对湿度,非冷凝
储存温度:-20至80摄氏度
外部泄漏完整性:%3C1 x 10-09(SCC/秒He)
通过关闭的阀门泄漏完整性:高达10K阀门%3C0.1%的40 psig大气压力下的FS,20K - 50K阀门%3C1.0%的40 psig大气压力下的FS
湿材料:316L不锈钢VAR、316不锈钢、埃尔吉洛伊镍
表面抛光:16英寸平均半径
重量:3磅(1.4千克)
服从:英国国教会

 

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。
 
质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空
和镀膜设备的品牌包括:INFICON(美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计),COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /
臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观
光洁如新,性能可靠,原厂验收标准。

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