福建代理日本HORIBA流量计使用手册

  HOIRBA集团拥有多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门，主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害，气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作，反应源液罐体后端控压以罐内压力稳定在范围。这些器件的研发及使用都致力于提高制程工艺中的良品率。    常见的压力控制器UR-Z700系列  HoribaZ700系列的产品概要：

STEC SMT-3000模拟橡胶密封质量流量计

STEC SFC-480模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEF-11模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-Z10D模拟金属密封质量流量计

STEC SEC-PV2000模拟金属密封质量流量计

STEC SEC-PV1000模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-7440模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-7340模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-7350模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-7330模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-4600模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-4500模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-4400模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-3400S模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-400模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-300模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-E40MK3低成本质量流量控制器

STEC SEC E50MK3低成本质量流量控制器

STEC LF-F/LV-F系列液体微小质量流量计/控制器

STEC SEC-400MK3低成本质量流量控制器

STEC SEC 500MK3低成本质量流量控制器

STEC SEC-N100数字式质量流量控制器

STEC SEC-Z700热感传感器，压力钝感质量流量计

STEC SEC-Z500X多范围/多气体的数字式质量流量控制器

STEC SEC-8000F/D高温应用质量流量控制器

STEC SEC-2000高温的质量流量控制器

STEC SEC-8000高温应用质量流量控制器

  UR系列产品为使用高精度压力传感器及，响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。 HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的，以及拥有世界大的市场份额。 HoribaZ700系列的产品特征： 可使用DeviceNet控制接口 符合官方要求的RoHS处理

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大200slm N2 标称流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 质量流量控制器, 适用于大 50slm N2 标称流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™质量流量控制器, 适用于大 200slm N2 标称流量.


日本HORIBA流量计概要

所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在对流量进行计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。

Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd  specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.

The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.