内蒙古代理日本HORIBA流量计联系方式
此外，藉由产品材料的技术革新， Z500系列全面满足了 RoHS 绿产品的设计要求，为客户提升产品价值。高性能的Z500系列流量计，将带给您更多惊喜。全世界正见着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。日本HORIBA流量计-SEF-Z542质量流量计特征 高精度：设定流量值±1.0%. MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的， 此技术在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统， 并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。
· 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制· 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。· 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号：SEC-E40MK3/E50MK3如今半导体成为工业进化中的核心部件。HORIBA聚焦于半导体的微观世界。HORIBA各个领域的专家学者们致力于不同行业的工程项目研究，诸如评估和分析、超纯水的纯度、气液体的成分，更广泛地说即和。伴随HORIBA明确针对全工艺流程的目标，我们已成功开发了一系列的分析设备，液体控制和监测系统已适应半导体制程中每一步工艺所需的严格质量控制需求。在制程的整个阶段，从材料分析到检查，HORIBA产品能帮助客户在高精尖端的电子器件制程达到能。
日本HORIBA流量计其它型号
SEC- (质量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (质量流量计)
E40
E50
适用气体种类*1
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号
非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)
2〜 F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列)
0〜 F.S.
响应速度
1秒以内(T98)
流量精度
±1% F.S.
直线性
±0.5% F.S.
反复性
±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列)
10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 压
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用环境温度
5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号
0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜 F.S.
流量输出信号
0〜5VDC(负荷电阻2kΩ)
驱动电源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2
1/4SWL 类型
无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。
质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。