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HORIBA质量流量计
西藏供应日本HORIBA流量计的简单介绍
  • 西藏供应日本HORIBA流量计的简单介绍

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西藏供应日本HORIBA流量计的简单介绍

日本HORIBA流量计-SEC/Z712-SEC/Z722热感传感器压力钝感质量流量计

日本HORIBA  SEC-Z700系列热感传感器,压力钝感质量流量计

型号;

 SEC-Z712MGX  SEC-714MGX  SEC-Z722MGX  SEC-Z724MGX  SEC-Z732MGX  SEC-Z734MGX  SEC-Z742MGX  SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配备热式传感器且具有压力不敏感性以实现稳定流量控制的气体质量流量控制器。其中前端的压力控制可减少气路系统的成本,尺寸及复杂度。

特征

多气体/多量程解决方案客户可更改气体的种类与满量程

可变PID功能实现整个范围内的高速响应(1秒内)

简化气路线无需额外增加调节器,传感器,过滤器

稳定控制气体流量,不受上游端及下游端的压力波动影响

搭载进气压传感器

多种展示

1% S.P.的精度

洁净设计 - 金属隔板,采用不锈钢SUS-316L,抛光面表面处理(标准)

轻巧的尺寸

50SLM内相同的配件尺寸

信号兼容

模拟式/RS485 数字式 , DeviceNet™模式

数字信号控制

· 适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制· 适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,引以为豪。· 低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号:SEC-E40MK3/E50MK3如今半导体成为工业进化中的核心部件。HORIBA聚焦于半导体的微观世界。HORIBA各个领域的专家学者们致力于不同行业的工程项目研究,诸如评估和分析、超纯水的纯度、气液体的成分,更广泛地说即和。伴随HORIBA明确针对全工艺流程的目标,我们已成功开发了一系列的分析设备,液体控制和监测系统已适应半导体制程中每一步工艺所需的严格质量控制需求。在制程的整个阶段,从材料分析到检查,HORIBA产品能帮助客户在高精尖端的电子器件制程达到能。



日本HORIBA流量计(型号:S48300/HMT)

1,可应用行业:真空镀膜 表面处理 配气系统等

2,流量:(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

3,产品特点:

A,高精度

B,良好的线性

C,的响应

D,电磁阀使用寿命≥100万次

E,对零点漂移有效的抑制

F,化的零配件供应

G,通讯接口优势

H,多台控制器可以同时运行


日本HORIBA流量计規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大50slm N2 标称流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大200slm N2 标称流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 质量流量控制器, 适用于大 50slm N2 标称流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™质量流量控制器, 适用于大 200slm N2 标称流量.


日本HORIBA流量计概要
质量流量计是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。

HORIBA STEC, 作为范围内市场占有率超过35%*1的流量计生产商, 长期以来如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在,手携的技术,HORIBA STEC 正在向推广新型的质量流量控制器: Z500系列。

相对于旧有的型号,Z500X 系列实现了的突破, 而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要,轻松地更改流量计气体种类和量程*2。

此外,藉由产品材料的技术革新, Z500系列全面满足了 RoHS 绿产品的设计要求,为客户提升产品价值。

高性能的Z500系列流量计,将带给您更多惊喜。全世界正见着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。

1 参考 VLSI's 2007 研究报告。
2 复合气体、复合流量功能。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空和镀膜设备的品牌包括:INFICON(美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新,性能可靠,原厂验收标准。

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