黑龙江进口日本HORIBA流量计维修

  HOIRBA集团拥有多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门，主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害，气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作，反应源液罐体后端控压以罐内压力稳定在范围。这些器件的研发及使用都致力于提高制程工艺中的良品率。    常见的压力控制器UR-Z700系列  HoribaZ700系列的产品概要：

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。 包括SEC-N177R。质量流量计是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。

SEC- (质量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (质量流量计)

E40

E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时 关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2〜 F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0〜 F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(适于SEC系列)

10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa・m3/s(He)以下

使用环境温度

5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)

流量设定信号

0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜 F.S.

流量输出信号

0〜5VDC(负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型


日本HORIBA流量计型号SEC- (质量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (质量流量计)E40E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时　关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2?100% F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0?100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(适于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用环境温度

5?50℃(精度的确保：15?35℃)

流量设定信号

0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量输出信号

0?5VDC(小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型


日本HORIBA流量计特征
高精度：设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的， 此技术在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统， 并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。
高速响应
SEC-Z500X 使用了开发的“可更改PID”系统，任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时，PID数据将进行自动的调整，即使在气体种类和流量范围变更后，PID数据也能够自动优化，实现高速响应。
复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来，就可以很大程度上减少客户备品的数量，同时节省了时间和成本。

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。