湖北进口日本HORIBA流量计修理

日本HORIBA流量计/质量流量控制器SEC-E40质量流量计

无锡飞斯卡精密科技有限公司

所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在对流量进行计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。


日本HORIBA流量计(型号：S48300/HMT)

1，可应用行业：真空镀膜 表面处理 配气系统等

2，流量：（10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

3，产品特点：

A,高精度

B,良好的线性

C,的响应

D,电磁阀使用寿命≥100万次

E,对零点漂移有效的抑制

F,化的零配件供应

G,通讯接口优势

H,多台控制器可以同时运行


日本HORIBA流量计-SEC/Z712-SEC/Z722热感传感器压力钝感质量流量计

日本HORIBA  SEC-Z700系列热感传感器，压力钝感质量流量计

型号;

 SEC-Z712MGX  SEC-714MGX  SEC-Z722MGX  SEC-Z724MGX  SEC-Z732MGX  SEC-Z734MGX  SEC-Z742MGX  SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配备热式传感器且具有压力不敏感性以实现稳定流量控制的气体质量流量控制器。其中前端的压力控制可减少气路系统的成本，尺寸及复杂度。

特征

多气体/多量程解决方案客户可更改气体的种类与满量程

可变PID功能实现整个范围内的高速响应（1秒内）

简化气路线无需额外增加调节器，传感器，过滤器

稳定控制气体流量，不受上游端及下游端的压力波动影响

搭载进气压传感器

多种展示

1% S.P.的精度

洁净设计 - 金属隔板，采用不锈钢SUS-316L，抛光面表面处理（标准）

轻巧的尺寸

50SLM内相同的配件尺寸

信号兼容

模拟式/RS485 数字式 , DeviceNet™模式

数字信号控制

HORIBA STEC UR压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。 HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的，以及拥有世界大的市场份额，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS处理HORIBA STEC UR压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时　关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2?100% F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0?100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(适于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用环境温度

5?50℃(精度的确保：15?35℃)

流量设定信号

0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量输出信号

0?5VDC(小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，同时经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统，对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。

Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd  specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.

The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.