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日本HORIBA流量计
云南供应日本HORIBA流量计选型
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  • 产品分类:日本HORIBA流量计
  • 展开更多评论2022-10-2 11:38:10
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云南供应日本HORIBA流量计选型

· 适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制· 适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,引以为豪。· 低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号:SEC-E40MK3/E50MK3如今半导体成为工业进化中的核心部件。HORIBA聚焦于半导体的微观世界。HORIBA各个领域的专家学者们致力于不同行业的工程项目研究,诸如评估和分析、超纯水的纯度、气液体的成分,更广泛地说即和。伴随HORIBA明确针对全工艺流程的目标,我们已成功开发了一系列的分析设备,液体控制和监测系统已适应半导体制程中每一步工艺所需的严格质量控制需求。在制程的整个阶段,从材料分析到检查,HORIBA产品能帮助客户在高精尖端的电子器件制程达到能。

 

HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的,以及拥有世界大的市场份额,可使用DeviceNet控制接口,符合官方要求的RoHS处理 常见的压力控制器是UR-Z700系列,一款数字式自动压力调节器。根据不同用途,该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器通常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中,当供气压力突然发生变化时,管道或罐体内的压力也随之发生变化,这不仅会影响整条管路流量的稳定,甚至可能会对整台设备的造成大威胁。针对这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列,通过响应,高精度,稳定控制的性能来调整管路压力。即使面对这种情况,只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力,并确保气体质量流量控制器及反应源液的稳定运行。 

 

 

  UR系列产品为使用高精度压力传感器及,响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造,使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。 HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是有名的,以及拥有世界大的市场份额。 HoribaZ700系列的产品特征: 可使用DeviceNet控制接口 符合官方要求的RoHS处理

 

 

  HOIRBA集团拥有多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门,主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害,气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作,反应源液罐体后端控压以罐内压力稳定在范围。这些器件的研发及使用都致力于提高制程工艺中的良品率。    常见的压力控制器UR-Z700系列  HoribaZ700系列的产品概要:

 

 

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空和镀膜设备的品牌包括:INFICON(美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新,性能可靠,原厂验收标准。

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