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日本HORIBA流量计
安徽供应日本HORIBA流量计选型
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  • 展开更多评论2022-10-2 11:38:43
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安徽供应日本HORIBA流量计选型

日本HORIBA流量计HORIBA STEC 系列

STEC SMT-3000模拟橡胶密封质量流量计

STEC SFC-480模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEF-11模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-Z10D模拟金属密封质量流量计

STEC SEC-PV2000模拟金属密封质量流量计

STEC SEC-PV1000模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-7440模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-7340模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-7350模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-7330模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-4600模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-4500模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-4400模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-3400S模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-400模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-300模拟橡胶密封质量流量计

STEC SEC-E40MK3低成本质量流量控制器

STEC SEC E50MK3低成本质量流量控制器

STEC LF-F/LV-F系列液体微小质量流量计/控制器

STEC SEC-400MK3低成本质量流量控制器

STEC SEC 500MK3低成本质量流量控制器

STEC SEC-N100数字式质量流量控制器

STEC SEC-Z700热感传感器,压力钝感质量流量计

STEC SEC-Z500X多范围/多气体的数字式质量流量控制器

STEC SEC-8000F/D高温应用质量流量控制器

STEC SEC-2000高温的质量流量控制器

STEC SEC-8000高温应用质量流量控制器


日本HORIBA流量计規格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大50slm N2 标称流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于大200slm N2 标称流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 质量流量控制器, 适用于大 50slm N2 标称流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™质量流量控制器, 适用于大 200slm N2 标称流量.


日本HORIBA流量计特征
高精度:设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的, 此技术在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度, HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统, 并在大量实验的基础上,采集各种制程气体的校准数据。
高速响应
SEC-Z500X 使用了开发的“可更改PID”系统,任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时,PID数据将进行自动的调整,即使在气体种类和流量范围变更后,PID数据也能够自动优化,实现高速响应。
复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来,就可以很大程度上减少客户备品的数量,同时节省了时间和成本。
 

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式(数字式/模拟式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能,有效减少客户成本。 包括SEC-N177R。质量流量计是半导体制造设备中关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。

 


SEC/N122JM气体质量流量控制器概要

 

 

无锡飞斯卡精密科技有限公司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。

质量流量控制事业部专业从事销售服务世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空和镀膜设备的品牌包括:INFICON(美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国普发真空计,日本HORIBA流量计),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频/直流/微波电源发生器及测量工具, 氟离子/臭氧反应气体发生器,真空产品,气体分析仪,静电控制及信息和控制技术等产品。我们知名的气体流量校准系统,对任何品牌的MFC都可精确的清洗校准。外观光洁如新,性能可靠,原厂验收标准。

 

Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd  specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.

The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.

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